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品質(zhì)是生命完成的事情,服務(wù)是宗旨

Quality is life, service is the tenet

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PECVD

更新時(shí)間:  2025-01-14

產(chǎn)品型號:  

產(chǎn)品報(bào)價(jià):  

所  在  地:  合肥市新站區(qū)穎河路22號

產(chǎn)品特點(diǎn):  PECVD化學(xué)氣相沉積多通道質(zhì)量流量控制系統(tǒng)一款多路質(zhì)量流量計(jì)控制系統(tǒng)向好態勢,其質(zhì)量流量計(jì)和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里雙向互動,移動柜Z大可以承重1000Lbs重要作用,所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時(shí)持續向好,可將設(shè)備置于移動柜上以節(jié)約空間。

(聯(lián)系我時(shí),請說明是在化工儀器網(wǎng)上看到的信息兩個角度入手,謝謝=◤姳Wo。?/div>
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產(chǎn)品概述
  PECVD化學(xué)氣相沉積設(shè)備質(zhì)量流量控制系統(tǒng)一款多路質(zhì)量流量計(jì)控制系統(tǒng),其質(zhì)量流量計(jì)和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里基本情況,移動柜Z大可以承重1000Lbs現場,所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時(shí),可將設(shè)備置于移動柜上以節(jié)約空間力量。
 
  工作溫度:5~45?C
 
  zui大壓力:3x106 Pa
 
  精度: ±1.5% FS
 
  線性:±(0.5-1.5)%F.S
 
  重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
 
  流量范圍:
 
  一路:1~199 SCCM
 
  二路:1~499 SCCM
 
  PECVD注意:其他流量范圍的可定制我有所應,需額外費(fèi)用
 
  化學(xué)氣相沉積設(shè)備CVD1200C-II-SL200D50-5Z雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng)由雙溫區(qū)滑軌爐、質(zhì)子流量控制系統(tǒng)深入實施、真空系統(tǒng)三部分組成至關重要。雙溫區(qū)滑軌爐可移動并可實(shí)現(xiàn)快速升降溫;PLC控制5路質(zhì)子流量器效果,能夠精確控制系統(tǒng)的供氣有所應;真空泵可實(shí)現(xiàn)對管式爐快速抽真空。CVD(化學(xué)氣象沉積系統(tǒng))常用于表面材料生長合作關系、沉積著力提升,是一款實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備技術(shù)參數(shù)
 

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