立式管式爐爐體結(jié)構(gòu)
1.采用高純氧化鋁作為爐膛材料,減小能量損失高質量發展。
2.爐管采用單端封口設(shè)計全方位,頂端安裝有不銹鋼金屬法蘭,實(shí)驗(yàn)可在真空和氣氛條件下完成影響力範圍。
操作方式
針對實(shí)驗(yàn)室的使用要求大局,裝卸料采用間歇式手動裝、卸料邁出了重要的一步。裝料時將料盒放置在料盆支架上有序推進,打開并取出爐管一端的密封端蓋,放入帶料盒的料盒支架發展的關鍵,再將密封端蓋安裝在爐管法蘭上并擰緊卡箍螺栓道路。然后通入工藝氣氛,直到爐管內(nèi)氧含量達(dá)到工藝要求時進(jìn)行升溫?zé)Y(jié)真諦所在。產(chǎn)品燒結(jié)工藝完成后指導,應(yīng)繼續(xù)通人小量的工藝氣氛并進(jìn)行降溫,直到爐內(nèi)溫度低于工藝要求時充分,方可打開爐管密封端蓋取出產(chǎn)品進一步完善。
立式管式爐的氣體流量控制系統(tǒng)。通過浮子或質(zhì)量流量控制器調(diào)節(jié)進(jìn)氣量競爭力,以滿足用戶在不同反應(yīng)氣氛或保護(hù)氣氛條件下的實(shí)驗(yàn)要求調整推進。
組成的CVD系統(tǒng)主要應(yīng)用在新型材料測試,氧化鋅納米結(jié)構(gòu)的可控生長機製性梗阻、熒光粉材料機製、金屬材料、半導(dǎo)體材料集成應用、陶瓷材料探討、電化學(xué)、薄膜材料高效流通、石墨烯調解製度、碳納米管、納米線等領(lǐng)域功能。產(chǎn)品外觀美觀應用的因素之一,使用方便。
適用范圍:
立式管式氣氛爐主要應(yīng)用于院校實(shí)驗(yàn)室生產製造、工礦企業(yè)實(shí)驗(yàn)室開展試點,應(yīng)用于高攜手共進、中、低溫CVD工藝進一步,如碳納米管的研制大部分,晶體硅基板鍍膜,金屬材料擴(kuò)散焊接以及真空或氣氛下的熱處理等實際需求。