CVD石墨烯制備的制作過程
我們知道形勢，石墨烯發(fā)現(xiàn)源于初是用透明膠帶從石墨晶體上“粘”出一片石墨烯的，一提起石墨取得明顯成效。*約定管轄，直接剝離法制備石墨烯的產(chǎn)量低，工序復(fù)雜創新的技術，不適宜實(shí)際的工業(yè)需求發揮。隨著化學(xué)氣相沉積法的出現(xiàn)，石墨烯的工業(yè)化生產(chǎn)變成了可能更加堅強。
CVD石墨烯制備的基本過程是：把基底金屬箔片放入爐中與時俱進，通入氫氣和氬氣或者氮?dú)獗Ｗo(hù)加熱至1000℃左右，穩(wěn)定溫度初步建立，保持20min左右綜合運用；然后停止通入保護(hù)氣體，改通入碳源(如甲烷)氣體各有優勢，大約30min效果較好，反應(yīng)完成重要的意義；切斷電源持續，關(guān)閉甲烷氣體，再通入保護(hù)氣體排凈甲烷氣體再獲，在保護(hù)氣體的環(huán)境下直至管子冷卻到室溫產品和服務，取出金屬箔片，得到金屬箔片上的石墨烯體驗區。
真空泵：如果選擇管式爐增多，尤其是內(nèi)徑不超過60mm時(shí)，可以不用先抽真空有望，直接通氣氛即可進一步推進，但事實(shí)上實(shí)驗(yàn)人員為了安全性考慮，會(huì)加配真空泵方案，先抽真空再通惰性氣氛應用的選擇，反復(fù)幾次十大行動，用于除去空氣或氧氣。CVD管式爐一般配置普通的機(jī)械泵(10-0.01mbar)即可背景下，如果有經(jīng)費(fèi)或者特別的研究需求綜合措施，要求達(dá)到更高真空度(0.00001mbar)，可以再配置分子泵自然條件，但對(duì)于制備石墨烯而言設計標準，普通機(jī)械泵足矣。
理想的石墨烯轉(zhuǎn)移技術(shù)應(yīng)具有如下特點(diǎn):
(1)保證石墨烯在轉(zhuǎn)移后結(jié)構(gòu)完整互動互補、無(wú)破損發揮重要帶動作用；
(2)對(duì)石墨烯無(wú)污染(包括摻雜)；
(3)工藝穩(wěn)定意料之外、可靠重要方式，并具有高的適用性。對(duì)于僅有原子級(jí)或者數(shù)納米厚度的石墨烯而言研究進展，由于其宏觀強(qiáng)度低無障礙，轉(zhuǎn)移過程中極易破損，因此與初始基體的無(wú)損分離是轉(zhuǎn)移過程所必須解決的首要問題快速融入。
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