CVD石墨烯制備的制作過程
我們知道深刻變革，石墨烯發(fā)現(xiàn)源于初是用透明膠帶從石墨晶體上“粘”出一片石墨烯的全面闡釋，一提起石墨優化程度。*空間廣闊，直接剝離法制備石墨烯的產(chǎn)量低應用的選擇，工序復(fù)雜十大行動，不適宜實(shí)際的工業(yè)需求。隨著化學(xué)氣相沉積法的出現(xiàn)背景下，石墨烯的工業(yè)化生產(chǎn)變成了可能綜合措施。
CVD石墨烯制備的基本過程是：把基底金屬箔片放入爐中，通入氫氣和氬氣或者氮?dú)獗Ｗo(hù)加熱至1000℃左右自然條件，穩(wěn)定溫度設計標準，保持20min左右；然后停止通入保護(hù)氣體互動互補，改通入碳源(如甲烷)氣體發揮重要帶動作用，大約30min，反應(yīng)完成意料之外；切斷電源文化價值，關(guān)閉甲烷氣體，再通入保護(hù)氣體排凈甲烷氣體置之不顧，在保護(hù)氣體的環(huán)境下直至管子冷卻到室溫不斷完善，取出金屬箔片，得到金屬箔片上的石墨烯方便。
真空泵：如果選擇管式爐基礎上，尤其是內(nèi)徑不超過60mm時(shí)各領域，可以不用先抽真空，直接通氣氛即可取得顯著成效，但事實(shí)上實(shí)驗(yàn)人員為了安全性考慮新模式，會(huì)加配真空泵，先抽真空再通惰性氣氛不容忽視，反復(fù)幾次組織了，用于除去空氣或氧氣。CVD管式爐一般配置普通的機(jī)械泵(10-0.01mbar)即可進入當下，如果有經(jīng)費(fèi)或者特別的研究需求紮實，要求達(dá)到更高真空度(0.00001mbar)，可以再配置分子泵新體系，但對(duì)于制備石墨烯而言投入力度，普通機(jī)械泵足矣。
理想的石墨烯轉(zhuǎn)移技術(shù)應(yīng)具有如下特點(diǎn):
(1)保證石墨烯在轉(zhuǎn)移后結(jié)構(gòu)完整不難發現、無破損貢獻法治；
(2)對(duì)石墨烯無污染(包括摻雜)；
(3)工藝穩(wěn)定發展需要、可靠攻堅克難，并具有高的適用性。對(duì)于僅有原子級(jí)或者數(shù)納米厚度的石墨烯而言顯示，由于其宏觀強(qiáng)度低雙向互動，轉(zhuǎn)移過程中極易破損，因此與初始基體的無損分離是轉(zhuǎn)移過程所必須解決的首要問題設計能力。
地址：合肥市新站區(qū)穎河路22號(hào)
手機(jī)： 15395144171
郵箱：[email protected]
在線客服
電話咨詢